Asọ Lithography

SOFT LITHOGRAPHY jẹ ọrọ ti a lo fun nọmba awọn ilana fun gbigbe apẹẹrẹ. A nilo mimu titunto si ni gbogbo awọn ọran ati pe o jẹ microfabricated nipa lilo awọn ọna lithography boṣewa. Lilo mimu titunto si, a ṣe agbejade ilana elastomeric / ontẹ lati ṣee lo ni lithography rirọ. Elastomers ti a lo fun idi eyi nilo lati jẹ inert kemikali, ni iduroṣinṣin igbona to dara, agbara, agbara, awọn ohun-ini dada ati jẹ hygroscopic. Silikoni roba ati PDMS (Polydimethylsiloxane) jẹ meji ti o dara oludije ohun elo. Awọn ontẹ wọnyi le ṣee lo ni ọpọlọpọ igba ni lithography rirọ.

 

 

 

Ọkan iyatọ ti asọ lithography is MICROCONTACT titẹ sita. Ontẹ elastomer ti wa ni bo pẹlu inki a si tẹ si oju kan. Awọn oke apẹrẹ naa kan si oju ilẹ ati pe o ti gbe fẹlẹfẹlẹ tinrin ti o fẹrẹ to monolayer 1 ti inki. Fiimu monolayer tinrin yii ṣe bi iboju-boju fun etching tutu yiyan.

 

 

 

Iyatọ keji is MICROTRANSFER MOLDING, ninu eyiti awọn ipadasẹhin ti elastomer mold ti kun fun iṣaju polima olomi ati titari si oju kan. Ni kete ti polima naa ṣe iwosan lẹhin idọti microtransfer, a yọ mimu kuro, ti nlọ sile apẹrẹ ti o fẹ.

 

 

 

Nikẹhin iyatọ kẹta jẹ MICROMOLDING IN CAPILLARIES, nibiti apẹrẹ ontẹ elastomer jẹ ti awọn ikanni ti o lo awọn agbara capillary lati fi polima olomi sinu ontẹ lati ẹgbẹ rẹ. Ni ipilẹ, iwọn kekere ti polima olomi ti wa ni isunmọ si awọn ikanni capillary ati awọn ipa agbara ti o fa omi sinu awọn ikanni. Polima olomi ti o pọ ju ti yọ kuro ati polima inu awọn ikanni ti gba laaye lati ni arowoto. Awọn apẹrẹ ontẹ naa ti yọ kuro ati pe ọja ti ṣetan. Ti ipin abala ikanni ba jẹ iwọntunwọnsi ati awọn iwọn ikanni ti a gba laaye da lori omi ti a lo, atunṣe apẹẹrẹ to dara le ni idaniloju. Omi ti a lo ninu micromolding ni awọn capillaries le jẹ awọn polymers ti nmu iwọn otutu, seramiki sol-gel tabi awọn idaduro ti awọn ohun mimu laarin awọn olomi olomi. Awọn micromolding ni ilana awọn capillaries ti lo ni iṣelọpọ sensọ.

 

 

 

Lithography rirọ ni a lo lati kọ awọn ẹya ti a wọn lori micrometer si iwọn nanometer. Lithography rirọ ni awọn anfani lori awọn ọna kika lithography miiran bii fọtolithography ati lithography tan ina elekitironi. Awọn anfani pẹlu awọn wọnyi:

 

• Iye owo kekere ni iṣelọpọ pupọ ju fọtolithography ibile lọ

 

• Imudara fun awọn ohun elo ni imọ-ẹrọ imọ-ẹrọ ati ẹrọ itanna ṣiṣu

 

Ibamu fun awọn ohun elo ti o kan awọn ipele ti o tobi tabi ti kii ṣe apẹrẹ (nonflat).

 

• Lithography rirọ nfunni ni awọn ọna gbigbe-ọna diẹ sii ju awọn ilana lithography ti aṣa (diẹ sii '' inki '' awọn aṣayan)

 

• Lithography rirọ ko nilo oju-aye ifaseyin fọto lati ṣẹda awọn ẹda nanostructures

 

• Pẹlu rirọ lithography a le se aseyori kere awọn alaye ju photolithography ni yàrá eto (~ 30 nm vs ~ 100 nm). Ipinnu naa da lori iboju-boju ti a lo ati pe o le de awọn iye si isalẹ si 6 nm.

 

 

 

MULTILAYER SOFT LITHOGRAPHY jẹ ilana iṣelọpọ ninu eyiti awọn iyẹwu airi, awọn ikanni, awọn falifu ati awọn vias ti wa ni apẹrẹ laarin awọn fẹlẹfẹlẹ asopọ ti awọn elastomers. Lilo awọn ẹrọ lithography rirọ multilayer ti o ni awọn fẹlẹfẹlẹ pupọ le jẹ iṣelọpọ lati awọn ohun elo rirọ. Rirọ ti awọn ohun elo wọnyi ngbanilaaye awọn agbegbe ẹrọ lati dinku nipasẹ diẹ ẹ sii ju awọn aṣẹ titobi meji ni akawe pẹlu awọn ohun elo ti o da lori silikoni. Awọn anfani miiran ti lithography rirọ, gẹgẹbi ṣiṣe adaṣe iyara, irọrun ti iṣelọpọ, ati biocompatibility, tun wulo ni lithography rirọ pupọ. A lo ilana yii lati kọ awọn ọna ṣiṣe microfluidic ti nṣiṣe lọwọ pẹlu awọn falifu ti o wa ni pipa, awọn falifu iyipada, ati awọn fifa soke patapata kuro ninu awọn elastomers.