Бичил угсралт, сав баглаа боодол

Бид аль хэдийн манай МИКРО УГСРАЛТ & САВАЛЦАХ үйлчилгээ болон бүтээгдэхүүнүүдээ манай micro-19535b-д тусгайлан манай micro-19535b-д товч танилцуулсан.Микроэлектроникийн үйлдвэрлэл / Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл.

 

Энд бид механик, оптик, микроэлектроник, оптоэлектроник болон эдгээрийн хослолоос бүрдсэн эрлийз систем зэрэг бүх төрлийн бүтээгдэхүүнд ашигладаг илүү нийтлэг, түгээмэл микро угсрах, савлах техник дээр анхаарлаа төвлөрүүлэх болно. Бидний энд хэлэлцэх арга техникүүд нь илүү уян хатан бөгөөд илүү ер бусын, стандарт бус хэрэглээнд ашиглагддаг гэж үзэж болно. Өөрөөр хэлбэл, энд авч үзсэн бичил угсралт, сав баглаа боодлын техник нь "хайрцагнаас гадуур" бодоход тусалдаг бидний хэрэгсэл юм. Энд бидний ер бусын бичил угсралт, баглаа боодлын аргуудын зарим нь байна:

 

 

 

- Гарын авлагын бичил угсралт, савлагаа

 

- Автомат бичил угсралт, савлагаа

 

- Шингэн өөрөө угсрах гэх мэт өөрөө угсрах аргууд

 

- Чичиргээ, таталцлын болон цахилгаан статик хүч эсвэл бусад нөлөөгөөр стохастик микро угсралт.

 

- Микромеханик бэхэлгээг ашиглах

 

- Наалдамхай микромеханик бэхэлгээ

 

 

 

Манай олон талт ер бусын бичил угсралт, сав баглаа боодлын техникүүдийн заримыг илүү дэлгэрэнгүй авч үзье.

 

 

 

ГАРЫН ГААРЫН БИЧИГ УГСРАЛТ, САВАЛДАА: Гар ажиллагаа нь өндөр өртөгтэй бөгөөд нүдэнд ачаалал өгөх, ийм жижиг хэсгүүдийг микроскопоор угсрахтай холбоотой ур чадварын хязгаарлалт зэргээс шалтгаалан операторын хувьд боломжгүй, нарийн нарийвчлал шаарддаг. Гэсэн хэдий ч бага эзэлхүүнтэй тусгай хэрэглээний хувьд гар аргаар бичил угсралт нь хамгийн сайн сонголт байж болох юм, учир нь энэ нь автоматжуулсан микро угсралтын системийг зохион бүтээх, бүтээх шаардлагагүй юм.

 

 

 

АВТОМАТЖИЛСАН бичил угсралт, савлагаа: Манай бичил угсралтын системүүд нь угсрах ажлыг илүү хялбар, зардал багатай болгох зорилготойгоор бүтээгдсэн бөгөөд бичил машины технологийн шинэ хэрэглээг хөгжүүлэх боломжийг олгодог. Бид робот систем ашиглан микрон түвшний хэмжээс бүхий төхөөрөмж, эд ангиудыг бичил угсрах боломжтой. Манай автоматжуулсан бичил угсралт, сав баглаа боодлын тоног төхөөрөмж, боломжуудын заримыг энд харуулав.

 

 

 

• Нанометрийн байршлын нарийвчлал бүхий робот ажлын эсийг багтаасан дээд зэргийн хөдөлгөөнийг хянах төхөөрөмж

 

• Микро угсралтад зориулсан бүрэн автоматжуулсан CAD-д суурилсан ажлын эсүүд

 

• Төрөл бүрийн томруулалт ба талбайн гүнд (DOF) зураг боловсруулах горимыг туршихын тулд CAD зурагнаас синтетик микроскопоор дүрс үүсгэх Фурье оптикийн аргууд

 

• Нарийвчлалтай бичил угсрах, савлах зориулалттай бичил хясаа, манипулятор, идэвхжүүлэгчийг захиалгаар зохион бүтээх, үйлдвэрлэх чадвар

 

• Лазер интерферометр

 

• Хүчний хариу үйлдэл хийх странометр

 

• Бодит цагийн компьютерийн хараа нь дэд микроны хүлцэл бүхий эд ангиудын бичил тохируулга, микро угсралтад зориулсан серво механизм, моторыг хянах боломжтой.

 

• Сканнердах электрон микроскоп (SEM) болон дамжуулах электрон микроскоп (TEM)

 

• 12 градусын эрх чөлөө бүхий нано манипулятор

 

 

 

Бидний автоматжуулсан бичил угсралтын процесс нь олон араа болон бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг нэг алхамаар олон бичлэг эсвэл байршилд байрлуулах боломжтой. Бидний бичил манипуляцийн чадвар асар их юм. Бид танд стандарт бус ер бусын санаануудад туслахаар ирлээ.

 

 

 

МИКРО, НАНО ӨӨРИЙГӨӨ УГСРУУЛАХ АРГА: Өөрийгөө угсрах явцад өмнөх бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн эмх замбараагүй систем нь гадны чиглэлгүйгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хоорондын тодорхой, орон нутгийн харилцан үйлчлэлийн үр дүнд зохион байгуулалттай бүтэц, хэв маягийг бүрдүүлдэг. Өөрөө угсардаг бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь зөвхөн орон нутгийн харилцан үйлчлэлийг мэдэрдэг бөгөөд тэдгээрийг хэрхэн нэгтгэхийг зохицуулдаг энгийн дүрэм журмыг дагаж мөрддөг. Хэдийгээр энэ үзэгдэл нь цар хүрээнээс хамааралгүй бөгөөд бараг бүх түвшинд өөрийгөө бүтээх, үйлдвэрлэх системд ашиглах боломжтой боловч бидний гол анхаарал нь микро өөрөө угсрах, нано өөрөө угсрах явдал юм. Микроскопийн төхөөрөмжийг бүтээхэд хамгийн ирээдүйтэй санаануудын нэг бол өөрөө угсрах үйл явцыг ашиглах явдал юм. Байгалийн нөхцөлд барилгын блокуудыг нэгтгэх замаар нарийн төвөгтэй бүтцийг бий болгож болно. Жишээлбэл, нэг субстрат дээр олон тооны микро бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг бичил угсралтын аргыг бий болгосон. Субстратыг гидрофобик бүрсэн алттай холбох газруудаар бэлтгэдэг. Бичил угсралтыг хийхийн тулд субстрат дээр нүүрсустөрөгчийн тосыг түрхэж, зөвхөн усан дахь гидрофобик холбох газруудыг чийгшүүлнэ. Дараа нь усанд бичил бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг нэмж, тосоор норгосон бэхэлгээний хэсгүүдэд угсарна. Бүр илүү тодорхой субстрат холбох газруудыг идэвхгүй болгохын тулд электрохимийн аргыг ашиглан бичил угсралтыг хүссэн бэхэлгээний газруудад хийж болно. Энэ аргыг олон удаа ашигласнаар микро бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн өөр өөр багцыг нэг субстрат дээр дараалан угсарч болно. Микро угсралтын процедурын дараа микро угсарсан эд ангиудын цахилгаан холболтыг бий болгохын тулд цахилгаанаар бүрэх ажлыг гүйцэтгэдэг.

 

 

 

СТОХАСТИК МИКРО АССАМБЛЕЯ: Зэрэгцээ микро угсралтад эд ангиудыг нэгэн зэрэг угсардаг бол детерминист болон стохастик микро угсралт байдаг. Детерминист микро угсралтад субстрат дээрх хэсэг ба түүний хүрэх газрын хоорондын хамаарлыг урьдчилан мэддэг. Нөгөө талаас стохастик микро угсралтад энэ хамаарал үл мэдэгдэх эсвэл санамсаргүй байдаг. Зарим хөдөлгөгч хүчнээс үүдэлтэй стохастик үйл явцын үед эд ангиуд нь өөрөө угсардаг. Микро өөрөө угсрах ажлыг гүйцэтгэхийн тулд холбох хүч байх шаардлагатай, холболтыг сонгомол байдлаар хийх шаардлагатай бөгөөд микро угсрах хэсгүүд нь хоорондоо нэгдэхийн тулд хөдөлж чаддаг байх шаардлагатай. Стохастик микро угсралт нь олон удаа чичиргээ, электростатик, микрофлюидик эсвэл бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд үйлчилдэг бусад хүчнүүд дагалддаг. Стохастик микро угсралт нь барилгын блокууд нь бага байх үед ялангуяа ашигтай байдаг, учир нь тус тусдаа бүрэлдэхүүн хэсгүүдтэй харьцах нь илүү хэцүү болдог. Стохастик өөрөө угсрах нь байгальд ч ажиглагдаж болно.

 

 

 

МИКРОМЕХАНИК БЭХЛЭГЧ: Микро масштабын хувьд эрэг, нугас зэрэг ердийн төрлийн бэхэлгээ нь одоогийн үйлдвэрлэлийн хязгаарлалт, их үрэлтийн хүчнээс шалтгаалан тийм ч хялбар ажиллахгүй. Нөгөө талаас бичил хавчих бэхэлгээ нь микро угсралтын хэрэглээнд илүү хялбар ажилладаг. Бичил хавчих бэхэлгээ нь бичил угсралтын явцад хоорондоо наалддаг хос хосолсон гадаргуугаас бүрдэх хэв гажилттай төхөөрөмж юм. Энгийн бөгөөд шугаман угсралтын хөдөлгөөнтэй тул бэхэлгээний бэхэлгээ нь олон буюу давхаргат бүрэлдэхүүн хэсэгтэй төхөөрөмж, микро опто механик залгуур, санах ойтой мэдрэгч зэрэг бичил угсралтын ажилд өргөн хүрээний хэрэглээтэй байдаг. Бусад бичил угсралтын бэхэлгээ нь "түлхүүр түгжих" холбоос ба "түгжээ хоорондын" холболт юм. Түлхүүрийн цоожны холболт нь нэг бичил хэсэг дээрх "түлхүүр"-ийг өөр бичил хэсгийн холбох үүрэнд оруулахаас бүрдэнэ. Байршилд түгжих нь эхний бичил хэсгийг нөгөөд нь хөрвүүлэх замаар хийгддэг. Түгжээ хоорондын холбоос нь нэг бичил хэсгийг ангархайтай, нөгөө бичил хэсэг рүү ангархайтай перпендикуляр оруулах замаар үүсдэг. Хагархайнууд нь хөндлөнгийн тохируулга үүсгэдэг бөгөөд бичил хэсгүүдийг нэгтгэсний дараа байнгын ажиллагаатай байдаг.

 

 

 

НААЛГАН МИКРОМЕХАНИК БЭХЛҮҮЛЭГЧ: Наалдамхай механик бэхэлгээг 3D микро төхөөрөмжийг бүтээхэд ашигладаг. Бэхэлгээний процесс нь өөрөө тохируулах механизм, наалдамхай холболтыг агуулдаг. Байршлын нарийвчлалыг нэмэгдүүлэхийн тулд өөрөө тохируулах механизмыг наалдамхай бичил угсралтад суурилуулсан. Робот микроманипуляторт холбогдсон микро датчик нь наалдамхай бодисыг сонгон авч, зорилтот газруудад үнэн зөв хадгалдаг. Хатаах гэрэл нь цавууг хатууруулдаг. Эдгэрсэн цавуу нь бичил угсарсан эд ангиудыг байранд нь байлгаж, хүчтэй механик холболтоор хангана. Дамжуулагч цавуу ашиглан найдвартай цахилгаан холболтыг олж авах боломжтой. Наалдамхай механик бэхэлгээ нь зөвхөн энгийн ажиллагааг шаарддаг бөгөөд найдвартай холболт, байршлын өндөр нарийвчлалыг бий болгодог бөгөөд энэ нь автомат бичил угсралтад чухал ач холбогдолтой юм. Энэ аргын боломжит байдлыг харуулахын тулд 3 хэмжээст эргэдэг оптик унтраалга зэрэг олон гурван хэмжээст MEMS төхөөрөмжүүдийг микро угсарсан.