Зөөлөн литографи

ЗӨӨЛӨН LITHOGRAPHY  гэдэг нь загвар дамжуулах хэд хэдэн процесст хэрэглэгддэг нэр томъёо юм. Мастер хэв нь бүх тохиолдолд шаардлагатай бөгөөд стандарт литографийн аргыг ашиглан бичил үйлдвэрлэдэг. Мастер хэвийг ашиглан бид зөөлөн литографид ашиглах эластомер хээ / тамга үйлдвэрлэдэг. Энэ зорилгоор ашигласан эластомерууд нь химийн идэвхгүй, дулааны тогтвортой байдал, бат бөх, бат бөх чанар, гадаргуугийн шинж чанар, гигроскопик шинж чанартай байх шаардлагатай. Силикон резин ба PDMS (Polydimethylsiloxane) нь нэр дэвшигчдийн хоёр сайн материал юм. Эдгээр маркийг зөөлөн литографид олон удаа ашиглаж болно.

 

 

 

Зөөлөн чулуун зургийн нэг хувилбар нь МИКРОХОЛБООТОЙ Хэвлэх юм. Эластомер тамга нь бэхээр бүрсэн бөгөөд гадаргуу дээр дарагдсан байна. Загварын оргилууд нь гадаргуутай харьцаж, бэхний 1 давхаргын нимгэн давхарга шилжинэ. Энэхүү нимгэн хальсан давхарга нь сонгомол нойтон сийлбэр хийх маск болдог.

 

 

 

Хоёрдахь хувилбар нь MICROTRANSFER MOLDING бөгөөд эластомер хэвний хонхорхойг шингэн полимер прекурсороор дүүргэж, гадаргуу дээр шахдаг. Микротрансфер хэлбэрт оруулсны дараа полимер хатсаны дараа бид хэвийг нь хуулж, хүссэн хэв маягаа үлдээнэ.

 

 

 

Эцэст нь гурав дахь хувилбар нь CAPILLARIES IN MICROMOLDING бөгөөд эластомер тамганы загвар нь шингэн полимерийг хажуу талаас нь тамга руу шингээх капиллярын хүчийг ашигладаг сувгуудаас бүрддэг. Үндсэндээ бага хэмжээний шингэн полимерийг хялгасан судасны сувгийн хажууд байрлуулж, капиллярын хүч нь шингэнийг суваг руу татдаг. Илүүдэл шингэн полимерийг зайлуулж, суваг доторх полимерийг хатууруулахыг зөвшөөрнө. Маркны хэвийг хуулж, бүтээгдэхүүн бэлэн болсон байна. Хэрэв сувгийн харьцаа нь дунд зэрэг бөгөөд зөвшөөрөгдсөн хэмжээ нь ашигласан шингэнээс шалтгаалбал хэв маягийг сайн хуулбарлах боломжтой. Капилляр дахь бичил хэвэнд хэрэглэдэг шингэн нь термостат полимер, керамик гель эсвэл шингэн уусгагч доторх хатуу бодисын суспенз байж болно. Капилляр дахь бичил хэлбэрийг мэдрэгч үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

 

 

 

Зөөлөн литографийг микрометрээс нанометрийн масштабаар хэмжсэн шинж чанарыг бий болгоход ашигладаг. Зөөлөн литографи нь фотолитографи, электрон цацраг литографи гэх мэт чулуун зургийн бусад хэлбэрээс давуу талтай. Давуу талууд нь дараахь зүйлийг агуулна.

 

• Уламжлалт фотолитографаас их хэмжээгээр үйлдвэрлэх зардал бага

 

• Биотехнологи, хуванцар электроникийн хэрэглээнд тохиромжтой

 

• Том болон хавтгай бус (хавтгай бус) гадаргуутай ажиллахад тохиромжтой

 

• Зөөлөн литограф нь уламжлалт литографийн техникээс илүү хэв маяг шилжүүлэх аргыг санал болгодог (илүү "бэх"" сонголтууд)

 

• Зөөлөн литографид нано бүтэц үүсгэхийн тулд фото реактив гадаргуу шаардлагагүй

 

• Зөөлөн литографийн тусламжтайгаар бид лабораторийн нөхцөлд (~30 нм-ийн эсрэг ~100 нм) фотолитографаас илүү жижиг нарийн ширийн зүйлийг олж авах боломжтой. Нарийвчлал нь ашигласан маскаас хамаардаг бөгөөд 6 нм хүртэлх утгыг авах боломжтой.

 

 

 

ОЛОН ДАЯРТ ЗӨӨЛӨН LITHOGRAPHY энэ нь микроскопийн камер, суваг, хавхлага, судал зэргийг эластомерын наалдсан давхаргууд дотор хэвлэдэг үйлдвэрлэлийн процесс юм. Олон давхаргаас бүрдэх олон давхаргат зөөлөн литографийн төхөөрөмжийг ашиглан зөөлөн материалаар хийж болно. Эдгээр материалын зөөлөн байдал нь цахиурт суурилсан төхөөрөмжтэй харьцуулахад төхөөрөмжийн талбайг хоёроос илүү хэмжээгээр багасгах боломжийг олгодог. Зөөлөн литографийн бусад давуу талууд болох хурдан загварчлал, үйлдвэрлэхэд хялбар, био нийцтэй байдал зэрэг нь олон давхаргат зөөлөн литографийн хувьд хүчинтэй байдаг. Бид энэ техникийг бүхэлд нь эластомероор хийсэн асаах, унтраах хавхлага, шахуурга бүхий идэвхтэй микрофлюидик системийг бий болгоход ашигладаг.