මෘදු ලිතෝග්රැෆි

SOFT LITHOGRAPHY  යනු රටා මාරු කිරීම සඳහා ක්‍රියාවලි ගණනාවක් සඳහා භාවිතා කරන යෙදුමකි. සෑම අවස්ථාවකදීම ප්‍රධාන අච්චුවක් අවශ්‍ය වන අතර එය සම්මත ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රම භාවිතයෙන් ක්ෂුද්‍ර ලෙස සකස් කර ඇත. ප්‍රධාන අච්චුව භාවිතා කරමින්, අපි මෘදු ලිතෝග්‍රැෆි සඳහා භාවිතා කිරීමට ඉලාස්ටෝමරික් රටාවක් / මුද්දරයක් නිපදවන්නෙමු. මේ සඳහා භාවිතා කරන ඉලාස්ටෝමර් රසායනිකව නිෂ්ක්‍රීය විය යුතු අතර හොඳ තාප ස්ථායීතාවයක්, ශක්තියක්, කල්පැවැත්මක්, මතුපිට ගුණ සහ ජලාකර්ෂණීය විය යුතුය. සිලිකොන් රබර් සහ PDMS (Polydimethylsiloxane) හොඳ අපේක්ෂක ද්‍රව්‍ය දෙකකි. මෙම මුද්දර මෘදු ලිතෝග්‍රැෆි වලදී බොහෝ වාරයක් භාවිතා කළ හැක.

 

 

 

මෘදු ශිලා ලේඛනයේ එක් ප්‍රභේදයක් වන්නේ MICROCONTACT මුද්‍රණයයි. ඉලාස්ටෝමර් මුද්දරය තීන්තයකින් ආලේප කර මතුපිටට තද කර ඇත. රටා උච්ච මතුපිටට සම්බන්ධ වන අතර තීන්තයේ මොනොලේයර් 1 ක පමණ තුනී ස්ථරයක් මාරු කරනු ලැබේ. මෙම තුනී පටල මොනොලේයරය තෝරාගත් තෙත් කැටයම් සඳහා වෙස් මුහුණ ලෙස ක්‍රියා කරයි.

 

 

 

දෙවන විචලනය වන්නේ MICROTRANSFER MOLDING, එහි ඉලාස්ටෝමර් අච්චුවේ අවපාත ද්‍රව පොලිමර් පූර්වගාමියෙන් පුරවා මතුපිටකට තල්ලු කරයි. මයික්‍රොට්‍රාන්ස්ෆර් මෝල්ඩින් කිරීමෙන් පසු පොලිමර් සුව වූ පසු, අපි අච්චුව ඉවත් කර, අපේක්ෂිත රටාව ඉතිරි කරමු.

 

 

 

අවසාන වශයෙන් තුන්වන විචලනය වන්නේ කේශනාලිකා වල MICRROMOLDING, elastomer මුද්දර රටාව එහි පැත්තේ සිට මුද්දරය තුළට ද්‍රව බහුඅවයවයක් එවීම සඳහා කේශනාලිකා බලවේග භාවිතා කරන නාලිකා වලින් සමන්විත වේ. මූලික වශයෙන්, දියර පොලිමර් කුඩා ප්රමාණයක් කේශනාලිකා නාලිකා වලට යාබදව තබා ඇති අතර කේශනාලිකා බලවේග ද්රව නාලිකා තුලට ඇද දමයි. අතිරික්ත දියර පොලිමර් ඉවත් කර නාලිකා ඇතුළත පොලිමර් සුව කිරීමට ඉඩ දෙනු ලැබේ. මුද්දර අච්චුව ඉවත් කර නිෂ්පාදනය සූදානම් වේ. නාලිකා දර්ශන අනුපාතය මධ්‍යස්ථ නම් සහ අවසර දී ඇති නාලිකා මානයන් භාවිතා කරන ද්‍රවය මත රඳා පවතී නම්, හොඳ රටා අනුකරණයක් සහතික කළ හැක. කේශනාලිකා වල ක්ෂුද්‍ර මෝල්ඩින් කිරීමේදී භාවිතා කරන ද්‍රවය තාප සැකසුම් බහුඅවයව, සෙරමික් සෝල්-ජෙල් හෝ ද්‍රව ද්‍රාවක තුළ ඝණ ද්‍රව්‍ය අත්හිටුවීම විය හැකිය. කේශනාලිකා වල මයික්‍රොමෝල්ඩින් තාක්ෂණය සංවේදක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කර ඇත.

 

 

 

මයික්‍රොමීටරයෙන් නැනෝමීටර පරිමාණයෙන් මනින ලද අංගයන් තැනීමට මෘදු ලිතෝග්‍රැෆි භාවිතා කරයි. ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි සහ ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්භ ලිතෝග්‍රැෆි වැනි වෙනත් ආකාරයේ ලිතෝග්‍රැෆි වලට වඩා මෘදු ලිතෝග්‍රැෆි වලට වාසි ඇත. වාසි පහත සඳහන් දේ ඇතුළත් වේ:

 

• සාම්ප්‍රදායික ඡායාරූපකරණයට වඩා මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනයේ අඩු පිරිවැය

 

• ජෛව තාක්‍ෂණය සහ ප්ලාස්ටික් ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණවල යෙදීම් සඳහා යෝග්‍යතාවය

 

• විශාල හෝ නොසැලකිලිමත් (පැතලි නොවන) පෘෂ්ඨයන් සම්බන්ධ යෙදුම් සඳහා යෝග්‍යතාවය

 

• මෘදු ලිතෝග්‍රැෆි සාම්ප්‍රදායික ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රමවලට වඩා රටා මාරු කිරීමේ ක්‍රම ලබා දෙයි (වැඩි ''තීන්ත'' විකල්ප)

 

• මෘදු ලිතෝග්‍රැෆි සඳහා නැනෝ ව්‍යුහයන් නිර්මාණය කිරීමට ඡායාරූප-ප්‍රතික්‍රියාශීලී මතුපිටක් අවශ්‍ය නොවේ

 

• මෘදු ලිතෝග්‍රැෆි සමඟින් අපට රසායනාගාර සැකසීම් (~30 nm එදිරිව ~100 nm) ඡායාරූප ශිලා විද්‍යාවට වඩා කුඩා විස්තර ලබා ගත හැක. විභේදනය භාවිතා කරන මාස්ක් මත රඳා පවතින අතර 6 nm දක්වා අගයන් කරා ළඟා විය හැක.

 

 

 

MULTILAYER SOFT LITHOGRAPHY  යනු අන්වීක්ෂීය කුටීර, නාලිකා, කපාට සහ හරහා ඉලාස්ටෝමර්වල බන්ධිත ස්ථර තුළ අච්චු කරන ලද පිරිසැකසුම් ක්‍රියාවලියකි. බහු ස්ථර මෘදු ලිතෝග්‍රැෆි උපාංග භාවිතා කිරීම මෘදු ද්‍රව්‍ය වලින් සාදා ගත හැක. මෙම ද්රව්යවල මෘදු බව සිලිකන් මත පදනම් වූ උපාංග සමඟ සසඳන විට උපාංග ප්රදේශ විශාලත්වයේ අනුපිළිවෙල දෙකකට වඩා අඩු කිරීමට ඉඩ සලසයි. ශීඝ්‍ර මූලාකෘතිකරණය, සැකසීමේ පහසුව සහ ජෛව අනුකූලතාව වැනි මෘදු ලිතෝග්‍රැෆි වල අනෙකුත් වාසි බහු ස්ථර මෘදු ලිතෝග්‍රැෆි සඳහා ද වලංගු වේ. අපි මෙම තාක්‍ෂණය භාවිතා කරන්නේ ක්‍රියාකාරී ක්ෂුද්‍ර තරල පද්ධති ක්‍රියා විරහිත වෑල්ව්, ස්විචින් වෑල්ව් සහ පොම්ප සම්පූර්ණයෙන්ම ඉලාස්ටෝමර් වලින් තැනීමටයි.