மென்மையான லித்தோகிராபி

சாஃப்ட் லித்தோகிராஃபி_சிசி781905-5சிடிஇ-3194-பிபி3பி-136பேட்5சிஎஃப்58d_ என்பது பேட்டர்ன் டிரான்ஸ்ஃபருக்கான பல செயல்முறைகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் சொல். எல்லா சந்தர்ப்பங்களிலும் ஒரு முதன்மை அச்சு தேவைப்படுகிறது மற்றும் நிலையான லித்தோகிராஃபி முறைகளைப் பயன்படுத்தி மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேட் செய்யப்படுகிறது. மாஸ்டர் மோல்டைப் பயன்படுத்தி, மென்மையான லித்தோகிராஃபியில் பயன்படுத்த எலாஸ்டோமெரிக் பேட்டர்ன் / ஸ்டாம்பை உருவாக்குகிறோம். இந்த நோக்கத்திற்காகப் பயன்படுத்தப்படும் எலாஸ்டோமர்கள் வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றதாக இருக்க வேண்டும், நல்ல வெப்ப நிலைத்தன்மை, வலிமை, ஆயுள், மேற்பரப்பு பண்புகள் மற்றும் ஹைக்ரோஸ்கோபிக் இருக்க வேண்டும். சிலிகான் ரப்பர் மற்றும் பிடிஎம்எஸ் (பாலிடிமெதில்சிலாக்சேன்) இரண்டு நல்ல வேட்பாளர் பொருட்கள். இந்த முத்திரைகள் மென்மையான லித்தோகிராஃபியில் பல முறை பயன்படுத்தப்படலாம்.

 

 

 

மென்மையான லித்தோகிராஃபியின் ஒரு மாறுபாடு MICROCONTACT பிரிண்டிங் ஆகும். எலாஸ்டோமர் ஸ்டாம்ப் ஒரு மை பூசப்பட்டு ஒரு மேற்பரப்பில் அழுத்தப்படுகிறது. வடிவ சிகரங்கள் மேற்பரப்புடன் தொடர்பு கொள்கின்றன மற்றும் மையின் 1 மோனோலேயரின் மெல்லிய அடுக்கு மாற்றப்படுகிறது. இந்த மெல்லிய படல மோனோலேயர் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட ஈரமான பொறிப்பிற்கான முகமூடியாக செயல்படுகிறது.

 

 

 

இரண்டாவது மாறுபாடு MICROTRANSFER MOLDING ஆகும், இதில் எலாஸ்டோமர் அச்சின் இடைவெளிகள் திரவ பாலிமர் முன்னோடியால் நிரப்பப்பட்டு மேற்பரப்புக்கு எதிராக தள்ளப்படுகிறது. மைக்ரோட்ரான்ஸ்ஃபர் மோல்டிங்கிற்குப் பிறகு பாலிமர் குணமடைந்தவுடன், விரும்பிய வடிவத்தை விட்டுவிட்டு, அச்சுகளை உரிக்கிறோம்.

 

 

 

கடைசியாக மூன்றாவது மாறுபாடு MICROMOLDING IN CAPILLARIES, எலாஸ்டோமர் ஸ்டாம்ப் பேட்டர்ன் அதன் பக்கத்திலிருந்து ஒரு திரவ பாலிமரை முத்திரைக்குள் செலுத்துவதற்கு தந்துகி சக்திகளைப் பயன்படுத்தும் சேனல்களைக் கொண்டுள்ளது. அடிப்படையில், ஒரு சிறிய அளவு திரவ பாலிமர் தந்துகி சேனல்களுக்கு அருகில் வைக்கப்படுகிறது மற்றும் தந்துகி சக்திகள் திரவத்தை சேனல்களுக்குள் இழுக்கின்றன. அதிகப்படியான திரவ பாலிமர் அகற்றப்பட்டு, சேனல்களுக்குள் உள்ள பாலிமர் குணப்படுத்த அனுமதிக்கப்படுகிறது. முத்திரை அச்சு உரிக்கப்பட்டது மற்றும் தயாரிப்பு தயாராக உள்ளது. சேனல் தோற்ற விகிதம் மிதமானதாக இருந்தால் மற்றும் சேனல் பரிமாணங்கள் பயன்படுத்தப்படும் திரவத்தைப் பொறுத்து அனுமதிக்கப்பட்டால், நல்ல மாதிரி நகலெடுப்பை உறுதிசெய்ய முடியும். நுண்குழாய்களில் மைக்ரோமோல்டிங்கில் பயன்படுத்தப்படும் திரவமானது தெர்மோசெட்டிங் பாலிமர்கள், செராமிக் சோல்-ஜெல் அல்லது திரவ கரைப்பான்களுக்குள் திடப்பொருட்களின் இடைநீக்கம் ஆகும். நுண்குழாய்களில் நுண்ணுயிரிகளின் நுட்பம் சென்சார் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

 

 

 

மைக்ரோமீட்டரில் இருந்து நானோமீட்டர் அளவில் அளவிடப்படும் அம்சங்களை உருவாக்க மென்மையான லித்தோகிராஃபி பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஃபோட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் எலக்ட்ரான் பீம் லித்தோகிராபி போன்ற மற்ற லித்தோகிராஃபி வடிவங்களை விட மென்மையான லித்தோகிராஃபி நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. நன்மைகளில் பின்வருவன அடங்கும்:

 

• பாரம்பரிய ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபியை விட வெகுஜன உற்பத்தியில் குறைந்த செலவு

 

• பயோடெக்னாலஜி மற்றும் பிளாஸ்டிக் எலக்ட்ரானிக்ஸ் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது

 

• பெரிய அல்லது பிளானர் அல்லாத (தட்டை அல்லாத) பரப்புகளை உள்ளடக்கிய பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது

 

• சாஃப்ட் லித்தோகிராஃபி பாரம்பரிய லித்தோகிராஃபி நுட்பங்களைக் காட்டிலும் அதிகமான முறை-பரிமாற்ற முறைகளை வழங்குகிறது (அதிக ''மை'' விருப்பங்கள்)

 

• நானோ கட்டமைப்புகளை உருவாக்க மென்மையான லித்தோகிராஃபிக்கு புகைப்பட-எதிர்வினை மேற்பரப்பு தேவையில்லை

 

• மென்மையான லித்தோகிராஃபி மூலம், ஆய்வக அமைப்புகளில் (~30 nm vs ~100 nm) ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபியை விட சிறிய விவரங்களை நாம் அடைய முடியும். தெளிவுத்திறன் பயன்படுத்தப்படும் முகமூடியைப் பொறுத்தது மற்றும் 6 nm வரை மதிப்புகளை எட்டும்.

 

 

 

மல்டிலேயர் சாஃப்ட் லித்தோகிராஃபி_சிசி781905-5சிடிஇ-3194-பிபி3பி-136பேட்5சிஎஃப்58d_ என்பது ஒரு புனையமைப்பு செயல்முறையாகும், இதில் நுண்ணிய அறைகள், சேனல்கள், வால்வுகள் மற்றும் வயாக்கள் எலாஸ்டோமர்களின் பிணைக்கப்பட்ட அடுக்குகளுக்குள் வடிவமைக்கப்படுகின்றன. பல அடுக்குகளைக் கொண்ட பல அடுக்கு மென்மையான லித்தோகிராஃபி சாதனங்களைப் பயன்படுத்துவது மென்மையான பொருட்களிலிருந்து உருவாக்கப்படலாம். இந்த பொருட்களின் மென்மையானது சிலிக்கான் அடிப்படையிலான சாதனங்களுடன் ஒப்பிடும்போது சாதனப் பகுதிகளை இரண்டுக்கும் மேற்பட்ட ஆர்டர் அளவுகளால் குறைக்க அனுமதிக்கிறது. மென்மையான லித்தோகிராஃபியின் மற்ற நன்மைகள், விரைவான முன்மாதிரி, புனையலின் எளிமை மற்றும் உயிர் இணக்கத்தன்மை போன்றவை பல அடுக்கு மென்மையான லித்தோகிராஃபியிலும் செல்லுபடியாகும். ஆன்-ஆஃப் வால்வுகள், ஸ்விட்ச் வால்வுகள் மற்றும் பம்ப்கள் முழுவதுமாக எலாஸ்டோமர்களில் இருந்து செயல்படும் மைக்ரோஃப்ளூய்டிக் அமைப்புகளை உருவாக்க இந்த நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறோம்.