Yumshoq litografiya

SOFT LITHOGRAPHY  bu naqshni uzatish uchun bir qator jarayonlar uchun ishlatiladigan atama. Asosiy mog'or barcha holatlarda kerak bo'ladi va standart litografiya usullaridan foydalangan holda mikrofabrikatsiya qilinadi. Asosiy qolipdan foydalanib, biz yumshoq litografiyada foydalanish uchun elastomerik naqsh / shtamp ishlab chiqaramiz. Buning uchun ishlatiladigan elastomerlar kimyoviy jihatdan inert bo'lishi, yaxshi issiqlik barqarorligi, mustahkamligi, chidamliligi, sirt xususiyatlariga ega bo'lishi va gigroskopik bo'lishi kerak. Silikon kauchuk va PDMS (Polidimetilsiloksan) ikkita yaxshi nomzod materialdir. Ushbu markalar yumshoq litografiyada ko'p marta ishlatilishi mumkin.

 

 

 

Yumshoq litografiyaning bir varianti - bu MICROCONTACT PRINTING. Elastomer shtamp siyoh bilan qoplangan va sirtga bosilgan. Naqsh cho'qqilari sirt bilan aloqa qiladi va siyohning taxminan 1 monoqatlamining yupqa qatlami uzatiladi. Ushbu yupqa plyonkali monolayer selektiv namlash uchun niqob vazifasini bajaradi.

 

 

 

Ikkinchi o'zgarish - bu MICROTRANSFER MOLDING, bunda elastomer qolipning chuqurchalari suyuq polimer kashshof bilan to'ldirilgan va sirtga suriladi. Mikrotransfer kalıplamadan so'ng polimer qattiqlashgandan so'ng, biz kerakli naqshni qoldirib, qolipni tozalaymiz.

 

 

 

Nihoyat, uchinchi o'zgarish - bu KAPILYAYALARDA MICROMOLDING, bu erda elastomer shtamp namunasi suyuq polimerni shtampga o'z tomondan siqish uchun kapillyar kuchlardan foydalanadigan kanallardan iborat. Asosan, suyuq polimerning oz miqdori kapillyar kanallarga ulashgan holda joylashtiriladi va kapillyar kuchlar suyuqlikni kanallarga tortadi. Haddan tashqari suyuq polimer chiqariladi va kanallar ichidagi polimerning qattiqlashishiga ruxsat beriladi. Shtamp qolipi tozalanadi va mahsulot tayyor. Agar kanal nisbati o'rtacha bo'lsa va ruxsat etilgan kanal o'lchamlari ishlatiladigan suyuqlikka bog'liq bo'lsa, naqshning yaxshi takrorlanishiga ishonch hosil qilish mumkin. Kapillyarlarda mikromoldingda ishlatiladigan suyuqlik termoset polimerlari, keramik sol-gel yoki suyuq erituvchilar ichidagi qattiq moddalar suspenziyalari bo'lishi mumkin. Sensor ishlab chiqarishda kapillyarlarda mikromolding usuli qo'llanilgan.

 

 

 

Yumshoq litografiya mikrometrdan nanometrgacha o'lchangan xususiyatlarni yaratish uchun ishlatiladi. Yumshoq litografiya fotolitografiya va elektron nurli litografiya kabi litografiyaning boshqa shakllariga nisbatan afzalliklarga ega. Afzalliklarga quyidagilar kiradi:

 

• An'anaviy fotolitografiyaga qaraganda ommaviy ishlab chiqarishda past narx

 

• Biotexnologiya va plastik elektronikadagi ilovalar uchun yaroqlilik

 

• Katta yoki tekis bo'lmagan (tekis bo'lmagan) sirtlarni o'z ichiga olgan ilovalar uchun yaroqlilik

 

• Yumshoq litografiya anʼanaviy litografiya usullaridan koʻra koʻproq naqsh oʻtkazish usullarini taklif etadi (koʻproq “siyoh” variantlari)

 

• Yumshoq litografiya nanostrukturalarni yaratish uchun fotoreaktiv sirtga muhtoj emas

 

• Yumshoq litografiya yordamida biz laboratoriya sharoitida fotolitografiyaga qaraganda kichikroq tafsilotlarga erishishimiz mumkin (~30 nm va ~100 nm). Ruxsat ishlatiladigan niqobga bog'liq va 6 nm gacha bo'lgan qiymatlarga yetishi mumkin.

 

 

 

KO'P QATTALI SOFT LITHOGRAPHY  bu ishlab chiqarish jarayoni bo'lib, unda mikroskopik kameralar, kanallar, klapanlar va bo'laklar elastomerlarning bog'langan qatlamlari ichida qoliplanadi. Ko'p qatlamlardan tashkil topgan ko'p qatlamli yumshoq litografiya asboblari yordamida yumshoq materiallardan tayyorlanishi mumkin. Ushbu materiallarning yumshoqligi kremniy asosidagi qurilmalar bilan solishtirganda qurilma maydonlarini ikki martadan ko'proq hajmda kamaytirish imkonini beradi. Tez prototiplash, ishlab chiqarish qulayligi va biomoslashuv kabi yumshoq litografiyaning boshqa afzalliklari ko'p qatlamli yumshoq litografiyada ham amal qiladi. Biz bu usuldan to'liq elastomerlardan o'chirish klapanlari, kommutatsiya klapanlari va nasoslari bo'lgan faol mikrosuyuqlik tizimlarini qurish uchun foydalanamiz.