नरम लिथोग्राफी

SOFT LITHOGRAPHY  ढाँचा स्थानान्तरणका लागि धेरै प्रक्रियाहरूको लागि प्रयोग गरिएको शब्द हो। एक मास्टर मोल्ड सबै अवस्थामा आवश्यक छ र मानक लिथोग्राफी विधिहरू प्रयोग गरेर माइक्रोफेब्रिकेट गरिएको छ। मास्टर मोल्ड प्रयोग गरेर, हामी नरम लिथोग्राफीमा प्रयोग गर्नको लागि इलास्टोमेरिक ढाँचा / टिकट उत्पादन गर्छौं। यस उद्देश्यका लागि प्रयोग गरिने इलास्टोमरहरू रासायनिक रूपमा निष्क्रिय, राम्रो थर्मल स्थिरता, बल, स्थायित्व, सतह गुणहरू र हाइग्रोस्कोपिक हुन आवश्यक छ। सिलिकन रबर र PDMS (Polydimethylsiloxane) दुई राम्रो उम्मेद्वार सामग्री हुन्। यी टिकटहरू नरम लिथोग्राफीमा धेरै पटक प्रयोग गर्न सकिन्छ।

 

 

 

सफ्ट लिथोग्राफीको एउटा भिन्नता हो MICROCONTACT प्रिन्टिङ। इलास्टोमर स्ट्याम्पलाई मसीले लेपित गरिन्छ र सतहमा थिचिन्छ। ढाँचाको चुचुराहरूले सतहलाई सम्पर्क गर्छ र मसीको लगभग 1 मोनोलेयरको पातलो तह स्थानान्तरण हुन्छ। यो पातलो फिल्म मोनोलेयरले छनौट गीला नक्काशीको लागि मास्कको रूपमा कार्य गर्दछ।

 

 

 

दोस्रो भिन्नता हो MICROTRANSFER मोल्डिङ, जसमा इलास्टोमर मोल्डको रिसेसहरू तरल पोलिमर अग्रसरले भरिन्छ र सतहमा धकेलिन्छ। माइक्रोट्रान्सफर मोल्डिङ पछि पोलिमर निको भएपछि, हामी मोल्डलाई छिल्छौं, इच्छित ढाँचा पछाडि छोड्छौं।

 

 

 

अन्तमा तेस्रो भिन्नता हो MICROMOLDING IN CAPILLARIES, जहाँ इलास्टोमर स्ट्याम्प ढाँचाले च्यानलहरू समावेश गर्दछ जसले यसको छेउबाट स्ट्याम्पमा तरल पोलिमरलाई विक गर्न केशिका बलहरू प्रयोग गर्दछ। साधारणतया, तरल पोलिमरको सानो मात्रा केशिका च्यानलहरूको छेउमा राखिएको छ र केशिका बलहरूले तरललाई च्यानलहरूमा तान्छन्। अतिरिक्त तरल पोलिमर हटाइन्छ र च्यानल भित्र बहुलक उपचार गर्न अनुमति दिइएको छ। स्ट्याम्प मोल्ड बन्द छ र उत्पादन तयार छ। यदि च्यानल पक्ष अनुपात मध्यम छ र च्यानल आयामहरू प्रयोग गरिएको तरलमा निर्भर छन् भने, राम्रो ढाँचा प्रतिकृति सुनिश्चित गर्न सकिन्छ। केशिकाहरूमा माइक्रोमोल्डिङमा प्रयोग हुने तरल पदार्थ थर्मोसेटिंग पोलिमर, सिरेमिक सोल-जेल वा तरल सॉल्भेन्ट्स भित्र ठोस पदार्थहरूको निलम्बन हुन सक्छ। सेन्सर निर्माणमा माइक्रोमोल्डिङ इन केपिलारी प्रविधि प्रयोग गरिएको छ।

 

 

 

सफ्ट लिथोग्राफी माइक्रोमिटर देखि नैनोमिटर मापन मापन सुविधाहरू निर्माण गर्न प्रयोग गरिन्छ। फोटोलिथोग्राफी र इलेक्ट्रोन बीम लिथोग्राफी जस्ता लिथोग्राफीका अन्य रूपहरूमा सफ्ट लिथोग्राफीका फाइदाहरू छन्। फाइदाहरू निम्न समावेश छन्:

 

• परम्परागत फोटोलिथोग्राफी भन्दा ठूलो उत्पादनमा कम लागत

 

• बायोटेक्नोलोजी र प्लास्टिक इलेक्ट्रोनिक्समा अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्तता

 

• ठूला वा ननप्लानेर (ननफ्लेट) सतहहरू समावेश गरिएका अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्तता

 

• सफ्ट लिथोग्राफीले परम्परागत लिथोग्राफी प्रविधिहरू भन्दा बढी ढाँचा-स्थानान्तरण विधिहरू प्रदान गर्दछ (थप ''मसी'' विकल्पहरू)

 

• नरम लिथोग्राफीलाई न्यानोस्ट्रक्चरहरू सिर्जना गर्न फोटो-प्रतिक्रियात्मक सतहको आवश्यकता पर्दैन

 

• नरम लिथोग्राफीको साथ हामी प्रयोगशाला सेटिङहरूमा फोटोलिथोग्राफी भन्दा सानो विवरणहरू प्राप्त गर्न सक्छौं (~30 nm बनाम ~ 100 nm)। रिजोल्युसन प्रयोग गरिएको मास्कमा निर्भर गर्दछ र मानहरू 6 एनएम सम्म पुग्न सक्छ।

 

 

 

MULTILAYER SOFT LITHOGRAPHY  एक निर्माण प्रक्रिया हो जसमा माइक्रोस्कोपिक चेम्बरहरू, च्यानलहरू, भल्भहरू र भ्यासहरू इलास्टोमरहरूको बन्धित तहहरूमा मोल्ड हुन्छन्। बहु-तह सफ्ट लिथोग्राफी उपकरणहरू प्रयोग गरी बहु तहहरू समावेश गरी नरम सामग्रीबाट बनाइएको हुन सक्छ। यी सामग्रीहरूको नरमताले उपकरण क्षेत्रहरूलाई सिलिकन-आधारित उपकरणहरूको तुलनामा परिमाणको दुई भन्दा बढी अर्डरहरू घटाउन अनुमति दिन्छ। नरम लिथोग्राफीका अन्य फाइदाहरू, जस्तै द्रुत प्रोटोटाइपिङ, निर्माणको सहजता, र बायोकम्प्याटिबिलिटी, बहु-तह सफ्ट लिथोग्राफीमा पनि मान्य छन्। हामी यो प्रविधिलाई सक्रिय माइक्रोफ्लुइडिक प्रणालीहरू अन-अफ भल्भहरू, स्विच गर्ने भल्भहरू र इलास्टोमरहरूबाट पूर्ण रूपमा बाहिर पम्पहरू निर्माण गर्न प्रयोग गर्छौं।