نرم لیتوګرافي

SOFT LITHOGRAPHY  یوه اصطلاح ده چې د نمونې لیږد لپاره د یو شمیر پروسو لپاره کارول کیږي. په ټولو قضیو کې ماسټر مولډ ته اړتیا ده او د معیاري لیتوګرافي میتودونو په کارولو سره مایکرو فابریکیټ شوی. د ماسټر مولډ په کارولو سره ، موږ په نرم لیتوګرافي کې د کارولو لپاره د ایلیسټومریک نمونه / ټاپ تولید کوو. Elastomers چې د دې هدف لپاره کارول کیږي باید په کیمیاوي توګه غیر فعال وي، ښه حرارتي ثبات، ځواک، پایښت، د سطحې ملکیتونه او هایګروسکوپي وي. سلیکون ربړ او PDMS (Polydimethylsiloxane) دوه ښه نوماند توکي دي. دا ټاپې په نرم لیتوګرافي کې څو ځله کارول کیدی شي.

 

 

 

د نرم لیتوګرافي یو توپیر دی MICROCONTACT چاپ. د الاستومر ټاپه د رنګ سره پوښل کیږي او د سطحې په وړاندې فشار ورکول کیږي. د نمونې چوکۍ د سطحې سره اړیکه نیسي او د رنګ شاوخوا 1 مونویلیر یو پتلی پرت لیږدول کیږي. دا پتلی فلم مونولایر د انتخاب شوي لوند ایچنګ لپاره د ماسک په توګه کار کوي.

 

 

 

دوهم توپیر دی MICROTRANSFER مولډینګ، په کوم کې چې د ایلسټومر مولډ ریسیسونه د مایع پولیمر مخکینۍ سره ډک شوي او د سطحې په وړاندې فشار راوړي. یوځل چې پولیمر د مایکروټرانسفر مولډینګ وروسته روغ شي ، موږ مولډ لرې کوو ، د مطلوب نمونې شاته پریږدو.

 

 

 

په نهایت کې دریم توپیر دی MICROMOLDING په کیپلیرونو کې ، چیرې چې د ایلسټومر سټمپ نمونه د چینلونو څخه جوړه ده چې د کیپیلري ځواک څخه کار اخلي ترڅو مایع پولیمر له خپل اړخ څخه سټمپ ته واړوي. په اصل کې، د مایع پولیمر لږه اندازه د کیپیلري چینلونو سره نږدې ځای پر ځای کیږي او د کیپلیري ځواکونه مایع چینلونو ته راوباسي. اضافي مایع پولیمر لرې کیږي او د چینلونو دننه پولیمر د درملنې اجازه لري. د سټمپ مولډ پاک شوی او محصول چمتو دی. که چیرې د چینل اړخ تناسب معتدل وي او اجازه ورکړل شوي چینل ابعاد په کارول شوي مایع پورې اړه ولري، د ښه نمونې نقل یقیني کیدی شي. هغه مایع چې په کیپلیرونو کې په مایکرومولډینګ کې کارول کیږي د مایع محلولونو دننه د تودوخې پولیمر ، سیرامیک سول جیل یا د سالډونو تعلیق کیدی شي. د کیپلیرونو تخنیک کې مایکرومولډینګ د سینسر په جوړولو کې کارول شوی.

 

 

 

نرم لیتوګرافي د مایکرومیټر څخه تر نانومیټر پیمانه اندازه شوي ځانګړتیاوې رامینځته کولو لپاره کارول کیږي. نرم لیتوګرافي د لیتوګرافي نورو ډولونو لکه فوتو لیتوګرافي او الکترون بیم لیتوګرافي په پرتله ګټې لري. په ګټو کې لاندې شامل دي:

 

• د دودیز فوتوګرافي په پرتله په ډله ایز تولید کې ټیټ لګښت

 

• په بایو ټیکنالوژۍ او پلاستيکي برقیاتو کې د غوښتنلیکونو لپاره مناسب

 

• د غوښتنلیکونو لپاره مناسبیت چې لوی یا غیر پلانر (غیر فلیټ) سطحونه پکې شامل وي

 

• نرم لیتوګرافي د دودیزو لیتوګرافي تخنیکونو په پرتله د نمونې لیږدونې میتودونه وړاندې کوي (ډیر ''انک'' اختیارونه)

 

• نرم لیتوګرافي د نانو جوړښتونو رامینځته کولو لپاره عکس عکس العمل سطح ته اړتیا نلري

 

• د نرم لیتوګرافي سره موږ کولی شو د لابراتوار ترتیباتو کې د فوتو لیتوګرافي په پرتله کوچني توضیحات ترلاسه کړو (~30 nm vs ~ 100 nm). ریزولوشن په کارول شوي ماسک پورې اړه لري او کولی شي ارزښتونو ته 6 nm ته ورسیږي.

 

 

 

MULTILAYER SOFT LITHOGRAPHY د جوړونې پروسه ده په کوم کې چې مایکروسکوپیک چیمبرونه، چینلونه، والوز او ویاس د ایلیسټومرونو په تړلو پرتونو کې جوړ شوي. د څو پرتونو نرم لیتوګرافي وسایلو کارول چې ډیری پرتونه لري ممکن د نرم موادو څخه جوړ شي. د دې موادو نرموالی د وسیلې ساحې ته اجازه ورکوي چې د سیلیکون میشته وسیلو په پرتله د اندازې له دوه څخه ډیر امرونو لخوا کم شي. د نرم لیتوګرافۍ نورې ګټې لکه ګړندي پروټوټایپینګ ، د جوړونې اسانتیا ، او بایو مطابقت ، په څو پوړ نرم لیتوګرافي کې هم د اعتبار وړ دي. موږ دا تخنیک د فعال مایکرو فلوایډیک سیسټمونو رامینځته کولو لپاره کاروو چې د غیر فعال والوزونو ، سویچ کولو والوزونو ، او په بشپړ ډول له ایلیسټومرونو پمپونو سره رامینځته کیږي.